微区高灵敏度X射线荧光光谱仪 PHECDA-FVS产品特点：

1）微区  
     PHECDA-FVS最小聚焦到样品点尺寸φ200um，配置四个不同聚焦孔径光斑，软件控制切换，满足微区成像分析和主量与微量元素成分分析。并支持φ200um至φ5000um可定制，并可配置长方形平行光斑入射样品。

2）X-Y Stage
     软件控制X-Y Stage载物台精密移动，移动范围±10mm，移动步长10um/step。

3）成像
     微型高清摄像头，垂直与样品平面的摄像光路，放大倍数10~100倍。软件调谐X射线光斑位置和聚焦成像位置一致。

4）大样品室
     较大尺寸样品或不规则样品，可以直接放入样品室，通过摄像头定位，样品室尺寸为280mm（长）*230mm（宽）*70mm（高）。

5）Holospec FP
     PHECDA-FVS与Holospec FP的无缝链接，实现镀层、涂层、叠层厚度与成分分析，元素无标定量分析。